サファイア研磨試験結果の一例
研磨条件 被研磨材 LED基盤用サファイア(C面) 定盤 銅/12インチ 研磨時間 30分 圧力 1.2kg/cm2 回転数 90rpm

結果 SCMファインダイヤ 単結晶ダイヤモンド 粒度 1-3micron 1-3micron D50(μm) 1.52 1.61 表面粗さ Ra(μm) 0.009 0.012 Rmax(μm) 0.092 0.168 研磨量(μm) 16.8 5.4

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